Laboratoire microélectronique, Besançon
Construction de salles blanches pour un institut de recherche public associé au CNRS
L’institut FEMTO-ST (Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies, UMR 6174), est une unité mixte de recherche fabrique des composants de microfabrication dans des conditions extrêmes de propreté
Client : Femto-st
Besoin : Système de traitement d'air d'un ensemble de salles blanches d'une surface de 850m². Certaines salles sont classées ISO 5 (Lithographie) et ISO 6 (Chimie). D'ou la nécessité d'un maintien en pression des salles pour lutter contre la contamination.
Solution : Centrales de traitement d'air CAIRplus avec Filtration H13 à haute efficacité
Installateur : Engie Axima
Bureau d'études : Technip
